～　電磁モータの熱変位と、ピエゾステージの短ストロークからの解放　～

この課題、THKプレシジョンの ”ピエゾモータステージ” が解決します。

「ピエゾモーターステージ」の駆動源は、ナノレベル動作で使われるピエゾ（圧電）素子アクチュエータです

✔ なぜピエゾが「ミリメートル」も動けるのか？

その答えは内部に搭載されている　PiezoLEGS®の「歩行動作（デルタ駆動）」にあります

＜駆動イメージ＞

 ✔ なぜ「ナノ」レベルで制御できるのか？

一歩の中を極限まで細分化する制御と高精度リニアスケールが”鍵”で、直接、動作テーブルを監視・制御しています

● 電源OFFでもセルフロッキングで位置保持

位置決め完了後、電源をOFFにしても位置ズレを起こすことのない独自のセルフロッキング（パーキング）機能を備えており、高い保持力によりその位置を保持

● リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性

光学式リニアエンコーダを内蔵したタイプ（20nm分解能）と、低価格のTHKプレシジョン製光学式リニアエンコーダを内蔵したタイプ（40nm分解能）を選択可能

● 真空環境対応、非磁性対応

アクチュエータは、真空対応タイプや非磁性真空タイプがあり、カスタム対応しております

ミリ動作可能な「ピエゾモータステージ」と、高精度ナノレベル位置決めで使われている「ピエゾステージ」は、どちらも圧電（ピエゾ）素子を駆動源としていますが、動作原理が異なり、性能特徴も異なります

※用途に合わせて選ぶ、2つのピエゾ駆動方式 

· 光学系・レーザーアライメント：

　一度決めた光軸を数時間にわたって、その場を位置維持する必要がある用途に

　☞フォーカス微調整、サンプル位置の固定・微小ステップ調整、光路合わせ、ビームアライメント

· 分析・測定装置：

　顕微鏡などの広範囲なマッピング測定後、特定の位置での長時間安定停止＆観測

　☞フォースセンサとの併用により、距離×力の可視化も

· 半導体・精密検査設備：

　高性能レンズなど光学系の微小位置合わせ。プローバの接触位置、微小位置調整など

　☞位置決め完了後の安定性が品質を左右する工程に

· 特殊環境での精密位置決め：

　真空チャンバーの中での光学系・試料のアライメント。非磁性環境にもカスタム対応

※X軸ステージ2台を直交して組み合わせたXY軸ステージの構成も可能

※中央に開口を有し、可動範囲全域において開口を塞ぎません

※垂直タイプ ： X軸を縦置きした形で、長いストロークを維持

　水平面タイプ： くさび構造で、移動テーブルが水平を維持したまま昇降。短ストロークながら重量物でも安定した動作

※回転タイプ：回転範囲はわずかながら、高い角度分解能と位置再現性

　ゴニオタイプ：仮想点までの距離が異なる2機種あり。組み合わせで同一仮想点をもった2軸（θx, θy）ステージに

※制御インターフェース：LAN、RS485、USB、RS232Cを選択

　制御基板、ドライバ基板、リニアセンサインタポレータを内蔵

　・指定位置への移動、原点復帰、速度変更、ジョグ駆動など基本的な機能

　・ホームページからダウンロード可能

Q1：ピエゾモータタイプは、長時間の連続動作（スキャニング）に向いていますか？

A： 当製品は摩擦駆動方式であるため、長時間の高速連続駆動よりも、特定のポイントへ精密に移動して「静止・保持」する用途に向いております。この「静的な位置決め」においては、電源OFFでも位置がズレない強みを発揮します

Q2：電源を切っても、位置が保持されるのはなぜですか？

A： アクチュエータのセルフロッキング機能により、電源OFFの状態でも、仕様上の推力と同等の摩擦保持力が発生します。これにより、通電による発熱（熱ドリフト）の影響をゼロに抑えて、位置保持することができます

Q3：制御コントローラとの接続やプログラミングは難しいですか？

A： 専用コントローラ「LCシリーズ」は、USB/LAN/RS232C等のインターフェースを装備し、PCと接続が可能で、シンプルなコマンド体系で制御でき、PythonやLabVIEW等への組み込みも容易です

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