ピエゾモータステージ
特徴
● 電源OFFでもセルフロッキングで位置保持
位置決め完了後、電源をOFFにしても位置ズレを起こすことのない独自のセルフロッキング（パーキング）機能を備えており、高い保持力により位置を保持し続けます。
● リニアエンコーダ内蔵で高い位置再現性
リニアエンコーダメーカの光学式リニアエンコーダを内蔵したタイプ（20nm分解能）と、低価格のTHKプレシジョン製光学式リニアエンコーダを内蔵したタイプ（40nm分解能）を選択できます。
● 真空環境対応、非磁性対応
アクチュエータは真空対応タイプや非磁性真空タイプもカスタム対応しております。
動作原理
4本の足（LEGS）が伸長とベンディングを繰り返し、順次テーブルを送る原理です。
応用例
| ● 光学系の高精度位置決め | ● レーザーアライメント | |
| ● 精密マッピング測定 | ● 分析・測定装置 | |
| ● 顕微鏡用試料ステージ | ● 位置決め完了後、安定した静止保持を必要とする用途 |
製品ラインナップ
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X軸 |
| 型番 | 可動範囲 | 分解能 | 推力 | 最大移動速度 | 耐荷重 |
| LS1L60(F)-08B-06 | ±4 mm | 40 nm | 6N | 5mm/sec | 1kg |
| LS1L90(F)-16□-□ | ±8 mm | 20nm, 40nm | 6N, 20N | 5mm/sec | 2kg |
| LS1L120(F)-25□-□ | ±12.5 mm | 20nm, 40nm | 6N, 20N | 5mm/sec | 3kg |
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XY軸 |
| 型番 | 可動範囲 | 分解能 | 推力 | 最大移動速度 | 耐荷重 |
| LS2K180-16B-□ | (X,Y) ±8 mm | (X,Y) 40 nm | 6N, 20N | 5mm/sec | 2kg |
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Z軸 |
| 型番 | 可動範囲 | 分解能 | 推力 | 最大移動速度 | 耐荷重 |
| LSVL90(F)-12□-20 | ±6 mm | 20nm, 40 nm | 20N | 5mm/sec | 0.5kg |
| LSVL90(F)-03□-20 | ±1.5 mm | 20nm, 40 nm | 20N | 1mm/sec | 5kg |
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回転 ・ ゴニオ |
| 型番 | 可動範囲 | 分解能 | 推力 | 最大移動速度 | 耐荷重 |
| LS1C90-02□-20 | ±1° | 0.2秒, 0.4秒 | 20N | 12°/sec | 2kg |
| LS1G□90-02□-20 | ±1° | 0.1秒, 0.2秒 | 20N | 2.4°/sec | 2kg |
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制御コントローラ |
| 型番 | 制御軸数 | 接続リニアスケール | 制御インターフェース | 外形寸法 | 電源 |
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FC421A FC421B |
1 |
A:レニショー製 B:THKプレシジョン製 |
LAN, RS485 （RS232Cへ変更可）
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W210× D240× H68 mm |
AC100 ～ 120V |
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FC422A FC422B |
2 | ||||
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FC443A FC443B |
3 | ||||
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FC444A FC444B |
4 |
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