● 各メーカの対物レンズが取り付け可能
・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。
・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。
・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。
● 選べる4つのタイプ
1.【横型タイプ】
本体の厚みを抑えた構造です。
ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。
2.【縦型タイプ】
剛性が高く応答性を重視したタイプです。
重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。
3.【箱型タイプ】
対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。
4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。
4.【鏡筒用】
顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。
● 高速フォーカス | ● 画像処理機器 | |
● 共焦点顕微鏡 | ● レーザ加工 | |
● 半導体、FPD装置 | ● 干渉計形状測定 |
横型タイプ |
高分解能
汎用型(800μm)
高耐久
型番 | ストローク | 分解能 | 特徴 |
PFHC(W)**-015U | 15 μm | 1 nm | 高分解能 |
PFHC(W)**-100U | 100 μm | 2 nm | |
PFHW**-200U | 200 μm | 5 nm | |
PFHW**-300U | 300 μm | 10 nm | |
PFHW**-400U | 400 μm | 20 nm | |
PFHW**-200U-S | 200 μm | 20 nm | コストを抑えた汎用型 |
PFHW**-400U-S | 400 μm | 50 nm | |
PFHC2020-800U-S | 800 μm | 100 nm | |
PFHMW**-100U | 100 μm | 2 nm | 高耐久 |
縦型タイプ |
高分解能
高耐久
型番 | ストローク | 分解能 | 特徴 |
PFVC(W)**-100U | 100 μm | 2 nm | 高分解能 |
PFVW**-200U | 200 μm | 5 nm | |
特注対応 | 100 μm | 2 nm | 高耐久 |
箱型タイプ |
30μm
100μm, 300μm
型番 | ストローク | 共振周波数 | 特徴 |
PFB*-030U | 30 μm | 3100 Hz |
高重量レンズでも安定動作 |
PFB*-100U | 100 μm | 490 Hz | |
PFB*-300U | 300 μm | 210 Hz |
鏡筒用 |
型番 | ストローク | 分解能 | 特徴 |
PFR150-080U |
80 μm | 2 nm |
鏡筒の形状に応じて 特注対応可 |
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