対物レンズフォーカス用ピエゾステージ

応用例

● 高速フォーカス	● 画像処理機器	● 外観検査
● 共焦点顕微鏡	● レーザ加工	● 細胞観察用顕微鏡
● 半導体、FPD関連装置	● 干渉計形状測定	● ラマン分光

特徴

● 対物レンズの焦点調整に専用設計したピエゾステージです。

● 顕微鏡や装置に組み込むことで焦点調整の「高速化」や「高精度化」が可能です。

● 各メーカの対物レンズが取り付け可能

・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。

・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。

・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。

製品ラインナップ

特徴の異なる4つのタイプをラインナップしています。

横型タイプ

　・本体の厚みを抑えた構造です。

　・ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。

高分解能

汎用型(800μm)

高耐久

特徴	型番	ストローク	分解能
静電容量式センサを内蔵し高分解能	PFHC(W)＊＊-015UL	15 μm	1 nm
	PFHC(W)＊＊-100UL	100 μm	2 nm
	PFHW＊＊-200UL	200 μm	5 nm
	PFHW＊＊-300UL	300 μm	10 nm
	PFHW＊＊-400UL	400 μm	20 nm
コストを抑えた歪みゲージセンサ仕様	PFHW＊＊-200U-S	200 μm	20 nm
	PFHW＊＊-400U-S	400 μm	50 nm
	PFHC2020-800U-S	800 μm	100 nm
周囲温度や湿度に対する耐久性に優れた圧電素子を採用	PFHMW＊＊-100UL	100 μm	2 nm

縦型タイプ

　・剛性が高く応答性を重視したタイプです。

　・重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。

高分解能

高耐久

特徴	型番	ストローク	分解能
高剛性且つ高分解能	PFVC(W)＊＊-100UL	100 μm	2 nm
高剛性且つ高分解能	PFVW＊＊-200UL	200 μm	5 nm
周囲環境による耐久性に優れたタイプ	(お問い合わせください）	100 μm	2 nm

箱型タイプ

　・対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。

　・4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

30μm

100μm, 300μm

特徴	型番	ストローク	共振周波数
重量のある特殊レンズでも安定したフォーカスが可能	PFB＊-030UL	30 μm	3100 Hz
	PFB＊-100UL	100 μm	490 Hz
	PFB＊-300UL	300 μm	210 Hz

鏡筒用

　・顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

特徴

型番

ストローク

分解能

鏡筒の形状に応じて

特注対応可

PFR150-080UL

80 μm

2 nm

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