対物レンズフォーカス用 ピエゾステージ


特徴


● 各メーカの対物レンズが取り付け可能

・各メーカのレンズねじ径に適合できるよう4種類のねじサイズから選択できます。

・別売で“ねじ径変換アダプタ”も用意しています。

・規格外のレンズの取り付けもご相談ください。

 

● 選べる4つのタイプ

     

      1.【横型タイプ】

     本体の厚みを抑えた構造です。

     ストロークのバリエーションが豊富で、長い移動量を必要とする場合はこのタイプから選定します。

 

2.【縦型タイプ】

     剛性が高く応答性を重視したタイプです。

     重いレンズや鏡筒の長いレンズを使用する場合、あるいは高速フォーカスを求める場合に適しています。

 

3.【箱型タイプ】

     対物レンズを中心とした対称形両持ち構造とし、高重量のレンズでも安定したフォーカスが行えます。

     4本のねじで確実に設置固定でき、製造装置や検査装置への組み込み搭載に適しています。

 

4.【鏡筒用】

     顕微鏡の鏡筒を取り付けてフォーカス方向に微調できます。

    

応用例


  ● 高速フォーカス ● 画像処理機器
  ● 共焦点顕微鏡 ● レーザ加工
  ● 半導体、FPD装置 ● 干渉計形状測定

製品ラインナップ


  横型タイプ

高分解能

汎用型(800μm)

高耐久


型番 ストローク 分解能 特徴
PFHC(W)**-015U 15 μm 1 nm 高分解能
PFHC(W)**-100U 100 μm 2 nm
PFHW**-200U 200 μm 5 nm
PFHW**-300U 300 μm 10 nm
PFHW**-400U 400 μm 20 nm
PFHW**-200U-S 200 μm 20 nm コストを抑えた汎用型
PFHW**-400U-S 400 μm 50 nm
PFHC2020-800U-S 800 μm 100 nm
PFHMW**-100U 100 μm 2 nm 高耐久

  縦型タイプ

高分解能

高耐久


型番 ストローク 分解能 特徴
PFVC(W)**-100U 100 μm 2 nm 高分解能
PFVW**-200U 200 μm 5 nm
特注対応 100 μm 2 nm 高耐久
  箱型タイプ

30μm

100μm, 300μm


型番 ストローク 共振周波数 特徴
PFB*-030U 30 μm 3100 Hz

高重量レンズでも安定動作

PFB*-100U 100 μm 490 Hz
PFB*-300U 300 μm 210 Hz
  鏡筒用

型番 ストローク 分解能 特徴

PFR150-080U

80 μm 2 nm

鏡筒の形状に応じて

特注対応可

 

カタログと事例集をダウンロードできます。ぜひご覧ください!

お問い合わせフォーム


製品に関するご質問、デモ機のご希望などお気軽にお問い合わせください。

フォームが表示されるまでしばらくお待ち下さい。

恐れ入りますが、しばらくお待ちいただいてもフォームが表示されない場合は、こちらまでお問い合わせください。